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第523章 咱们工人有力量(第1页)

工件台又一次加热硅片,给工件做了一次坚膜,加固已经保留的光刻胶,进一步清除不需要的那部分胶以及其他成分的残留物。

坚膜完成之后,硅片被再次从头开始,开始了第二次的光刻流程,用的还是那块标准掩模。

显影完成后,二次光刻的光刻胶被固化,多余部分被清除,硅片被送到了显微镜下。

刚刚把硅片表面的清晰显微图像跳出来,马娟就语带欣喜的啊了一声。

“师兄,有了有了,能看出来,精度好高啊!”

马娟一边瞄着显微镜,一边嘴里喊着。

对于套刻精度高这一点,高振东是有所预计的,决定套刻精度的主要就是工件台,而三轧厂的一帮老师傅大发神威,将工件台的定位精度搞到了1.5μm。

而东北光学所的光学系统图形畸变只有1个μm不到,这两者结合起来,套刻精度绝对差不了。

不过估计归估计,在没看到真正结果那一天,谁都不敢彻底把心放下来。

听见马娟的话,高振东哈哈大笑:“来来来,我看看。”

马娟从显微镜下让开,高振东把眼睛凑到显微镜的目镜外,显微镜里甚至能看到他自己的眼睫毛,但他现在明显没有闲心观察自己的睫毛是否好看,急着往视场里看去。

显微镜里,两次光刻的痕迹非常明显,一条叠在另一条上面,重合度非常高。

两次光刻的痕迹,两边各露出来一小部分,这部分的单边宽度,基本上就是套刻误差了,粗粗看去,目测连整个线宽的一小半都不到。

“好!

太好了!

马娟,你们选取一些典型点位,要覆盖到整个硅片,马上做个比较全面的测量比较。”

另外一个试验人员走了上来,和马娟一起,一边找点,一边测量,一边记录。

时间的相对论在这里体现得淋漓尽致,马娟她们觉得时间过得很快,而等结果的高振东等人觉得时间过得太慢了。

又快又慢的一段时间过去后,试验人员在计算机面前坐下来,开始将数据输入计算机,这种简单统计分析,他们都是直接在源代码里敲数据。

处理算法的C代码早就写好了,现在他们就是在往一个数组里填数据而已。

这种办法,好就好在处理算法可以随时根据需要修改。

键盘声啪啪作响,现场人员的心情反而安定下来,从刚才他们测量中报的数来看,这个结果差不了。

随着最后一个数据输入完毕,马娟启动了编译-运行指令。

算法过于简单,没有带来任何调试上的麻烦,很快,屏幕上就跳出了一个数字。

编过临时程序的人都懂,怎么简单怎么来,这个数字甚至不带任何单位。

“1.97”

其实小数点后一位就够了,那个没有写出来的单位,是μm。

2μm!

虽然早有所料,但是当这个数字跳出来的时候,高振东还是哈哈大笑了起来。

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